無塵室(潔凈室)是高度控制環(huán)境中微粒、溫濕度、壓差、微生物等參數(shù)的封閉空間,廣泛應(yīng)用于電子、半導體、醫(yī)藥、生物科技、精密制造等領(lǐng)域。其施工需嚴格遵循潔凈工程標準(如ISO14644、GB50073),以下從設(shè)計到施工的關(guān)鍵步驟和技術(shù)要點進行說明:
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一、前期規(guī)劃與設(shè)計
1.潔凈度等級劃分
-根據(jù)ISO14644標準,確定無塵室級別(ISOClass1-9),如:
-ISO5級(百級):芯片制造、精密光學;
-ISO7級(萬級):醫(yī)藥生產(chǎn)、醫(yī)療設(shè)備;
-需明確溫度(通常20-24℃)、濕度(45%-60%)、壓差(5-15Pa梯度)等參數(shù)。
2.布局設(shè)計
-功能分區(qū):人流/物流通道分離,設(shè)置緩沖間、風淋室、更衣區(qū);
-氣壓梯度:核心區(qū)>走廊>更衣區(qū)>普通區(qū)域,防止外界污染;
-材料選擇:墻面/天花采用電解鋼板或彩鋼板,地面使用PVC卷材或環(huán)氧自流平,接縫需密閉。
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二、施工關(guān)鍵技術(shù)
1.圍護結(jié)構(gòu)施工
-墻體與吊頂:采用雙層防火彩鋼板,接縫處使用硅膠密封,避免積塵;
-門窗:密閉型材料,窗框四角需圓弧處理,門帶閉門器和密封條。
2.高效空氣過濾系統(tǒng)
-FFU(風機過濾單元):頂部安裝HEPA(高效)或ULPA(超高效)過濾器;
-氣流組織:單向流(垂直/水平層流)或非單向流(紊流),確保空氣循環(huán)覆蓋全區(qū)域;
-新風系統(tǒng):預(yù)過濾(初效+中效)及溫濕度預(yù)處理,降低主過濾器負擔。
3.地面與防靜電處理
-環(huán)氧自流平:無縫隙、耐磨、易清潔;
-防靜電地板:添加導電材料(碳纖維或銅箔),電阻值需控制在10?-10?Ω;
-圓弧處理:墻與地面連接處采用R≥30mm圓弧角,避免積灰死角。
4.管道與設(shè)備安裝
-風管:內(nèi)壁需光滑,安裝后需分段進行漏風檢測(漏風率≤1%);
-水電管路:隱蔽式安裝,穿墻部位密封處理;
-潔凈設(shè)備:設(shè)備基座需防震,運行時振動值需符合標準(如≤3μm/s)。
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三、污染物控制措施
1.人員與物料管控
-人員需穿戴潔凈服(Class1000以下需連體服),通過風淋室吹掃≥15秒;
-物料進入需在傳遞窗內(nèi)進行表面消毒或雙層包裝拆除。
2.施工過程清潔管理
-分階段清潔:粗施工→精細施工→全面清潔(真空吸塵+無塵布擦拭);
-禁止揚塵作業(yè):墻體切割、焊接等需在外部完成或使用吸塵工具。
3.微生物控制(制藥行業(yè))
-安裝紫外線消毒燈或臭氧發(fā)生器;
-墻面/地面使用抗菌涂層。
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四、檢測與驗收
1.潔凈度測試
-粒子計數(shù)器檢測:按ISO標準對≥0.3μm/0.5μm粒子數(shù)采樣;
-微生物采樣:采用沉降菌法或浮游菌法(醫(yī)藥行業(yè)強制要求)。
2.系統(tǒng)性能驗證
-風速與換氣次數(shù):單向流區(qū)域風速需達0.3-0.5m/s;
-壓差測試:相鄰區(qū)域壓差≥5Pa;
-泄漏測試:HEPA/ULPA過濾器檢漏(PAO氣溶膠法)。
3.文件交付
-提供潔凈室竣工圖、檢測報告、操作SOP及維護手冊。
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五、常見問題與解決方案
-潔凈度不達標:排查過濾器密封性、氣流死角或施工殘留污染;
-壓差失衡:調(diào)整新風/排風量或檢查門縫密閉性;
-靜電積聚:檢查接地系統(tǒng)或增加離子風機。
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無塵室施工需結(jié)合工藝需求、行業(yè)標準和持續(xù)維護,建議選擇具備ISO認證的潔凈工程公司,并在施工中全程監(jiān)控污染風險,確保交付后長期穩(wěn)定運行。