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無塵凈化車間設備_無塵凈化車間設備有哪些

發(fā)布時間:2025-07-02 05:30:27人氣:

       無塵凈化車間(CleanRoom)是專為控制空氣中微粒、溫度、濕度、壓力等參數(shù)而設計的特殊環(huán)境,廣泛應用于半導體、生物醫(yī)藥、精密電子、食品加工等領域。其核心設備組合決定了車間的凈化效果和運行效率。以下是主要設備及相關說明:

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       一、空氣凈化與循環(huán)系統(tǒng)

       1.高效/超高效過濾器(HEPA/ULPA)

       -作用:過濾空氣中≥0.3μm的顆粒物,HEPA過濾效率≥99.97%,ULPA可達99.9995%以上。

       -應用:通常安裝在送風末端或FFU(風機過濾單元)中。

       2.FFU(風機過濾單元)

       -內(nèi)置風機和高效過濾器的模塊化設備,可靈活安裝在吊頂,實現(xiàn)局部高潔凈度。

       3.新風系統(tǒng)

       -提供潔凈新風并維持車間正壓,防止外部污染空氣滲入,需配套初效、中效過濾器。

       4.回風系統(tǒng)

       -循環(huán)過濾室內(nèi)空氣,減少能耗,通常結(jié)合風道設計使用。

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       二、溫濕度與壓力控制設備

       1.空調(diào)機組(AHU)

       -調(diào)控溫濕度,過濾空氣,需集成冷熱源(如冷水機組、電加熱)和加濕/除濕系統(tǒng)。

       2.正壓控制系統(tǒng)

       -通過壓差傳感器和變頻風機調(diào)節(jié)各區(qū)域壓差,確??諝饬飨驈母邼崈魠^(qū)流向低潔凈區(qū)。

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       三、潔凈室結(jié)構(gòu)與輔助設備

       1.風淋室

       -人員/物料進入潔凈區(qū)前的吹淋設備,去除表面顆粒,雙門互鎖設計防止污染。

       2.傳遞窗

       -帶紫外燈或高效過濾器的密閉窗口,用于跨潔凈級別區(qū)域傳遞物品。

       3.潔凈工作臺/層流罩

       -提供局部ISO5級(Class100)超凈環(huán)境,用于樣品處理等精密操作。

       4.防靜電設備

       -包括離子風機、防靜電地板等,用于電子行業(yè)減少靜電吸附顆粒。

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       四、監(jiān)測與控制系統(tǒng)

       1.粒子計數(shù)器

       -實時監(jiān)測空氣中顆粒物濃度(如0.3μm、0.5μm粒徑),符合ISO14644標準。

       2.壓差計/溫濕度傳感器

       -監(jiān)測環(huán)境參數(shù)并聯(lián)動控制系統(tǒng)調(diào)整。

       3.EMS(環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng))

       -整合數(shù)據(jù)采集、報警及遠程控制功能,確保環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定。

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       五、水與氣體處理系統(tǒng)

       1.超純水系統(tǒng)(UPW)

       -反滲透(RO)+EDI(電去離子)技術(shù),用于清洗或生產(chǎn)用水。

       2.高純氣體供應

       -氮氣、氬氣等特殊氣體需經(jīng)終端過濾器(0.01μm)凈化。

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       六、消毒與滅菌設備

       1.紫外燈/臭氧發(fā)生器

       -對空氣和表面進行滅菌,常用于生物實驗室或無菌車間。

       2.VHP(汽化過氧化氫)滅菌系統(tǒng)

       -適用于高潔凈度區(qū)域的深度滅菌。

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       選型與維護關鍵點

       -潔凈等級匹配:根據(jù)行業(yè)標準(如ISO14644、GMP)選擇設備規(guī)格(如換氣次數(shù)、過濾器等級)。

       -能耗優(yōu)化:采用變頻風機、熱回收系統(tǒng)降低運營成本。

       -維護計劃:定期更換過濾器(初效1-3月,高效1-3年)、清潔風道、校準傳感器。

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       通過合理配置上述設備,無塵凈化車間可實現(xiàn)從百級到十萬級的潔凈度要求,滿足不同產(chǎn)業(yè)的精密生產(chǎn)需求。具體方案需結(jié)合工藝特點、空間布局及預算綜合設計。

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