無塵凈化車間(CleanRoom)是專為控制空氣中微粒、溫度、濕度、壓力等參數(shù)而設計的特殊環(huán)境,廣泛應用于半導體、生物醫(yī)藥、精密電子、食品加工等領域。其核心設備組合決定了車間的凈化效果和運行效率。以下是主要設備及相關說明:
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一、空氣凈化與循環(huán)系統(tǒng)
1.高效/超高效過濾器(HEPA/ULPA)
-作用:過濾空氣中≥0.3μm的顆粒物,HEPA過濾效率≥99.97%,ULPA可達99.9995%以上。
-應用:通常安裝在送風末端或FFU(風機過濾單元)中。
2.FFU(風機過濾單元)
-內(nèi)置風機和高效過濾器的模塊化設備,可靈活安裝在吊頂,實現(xiàn)局部高潔凈度。
3.新風系統(tǒng)
-提供潔凈新風并維持車間正壓,防止外部污染空氣滲入,需配套初效、中效過濾器。
4.回風系統(tǒng)
-循環(huán)過濾室內(nèi)空氣,減少能耗,通常結(jié)合風道設計使用。
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二、溫濕度與壓力控制設備
1.空調(diào)機組(AHU)
-調(diào)控溫濕度,過濾空氣,需集成冷熱源(如冷水機組、電加熱)和加濕/除濕系統(tǒng)。
2.正壓控制系統(tǒng)
-通過壓差傳感器和變頻風機調(diào)節(jié)各區(qū)域壓差,確??諝饬飨驈母邼崈魠^(qū)流向低潔凈區(qū)。
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三、潔凈室結(jié)構(gòu)與輔助設備
1.風淋室
-人員/物料進入潔凈區(qū)前的吹淋設備,去除表面顆粒,雙門互鎖設計防止污染。
2.傳遞窗
-帶紫外燈或高效過濾器的密閉窗口,用于跨潔凈級別區(qū)域傳遞物品。
3.潔凈工作臺/層流罩
-提供局部ISO5級(Class100)超凈環(huán)境,用于樣品處理等精密操作。
4.防靜電設備
-包括離子風機、防靜電地板等,用于電子行業(yè)減少靜電吸附顆粒。
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四、監(jiān)測與控制系統(tǒng)
1.粒子計數(shù)器
-實時監(jiān)測空氣中顆粒物濃度(如0.3μm、0.5μm粒徑),符合ISO14644標準。
2.壓差計/溫濕度傳感器
-監(jiān)測環(huán)境參數(shù)并聯(lián)動控制系統(tǒng)調(diào)整。
3.EMS(環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng))
-整合數(shù)據(jù)采集、報警及遠程控制功能,確保環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定。
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五、水與氣體處理系統(tǒng)
1.超純水系統(tǒng)(UPW)
-反滲透(RO)+EDI(電去離子)技術(shù),用于清洗或生產(chǎn)用水。
2.高純氣體供應
-氮氣、氬氣等特殊氣體需經(jīng)終端過濾器(0.01μm)凈化。
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六、消毒與滅菌設備
1.紫外燈/臭氧發(fā)生器
-對空氣和表面進行滅菌,常用于生物實驗室或無菌車間。
2.VHP(汽化過氧化氫)滅菌系統(tǒng)
-適用于高潔凈度區(qū)域的深度滅菌。
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選型與維護關鍵點
-潔凈等級匹配:根據(jù)行業(yè)標準(如ISO14644、GMP)選擇設備規(guī)格(如換氣次數(shù)、過濾器等級)。
-能耗優(yōu)化:采用變頻風機、熱回收系統(tǒng)降低運營成本。
-維護計劃:定期更換過濾器(初效1-3月,高效1-3年)、清潔風道、校準傳感器。
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通過合理配置上述設備,無塵凈化車間可實現(xiàn)從百級到十萬級的潔凈度要求,滿足不同產(chǎn)業(yè)的精密生產(chǎn)需求。具體方案需結(jié)合工藝特點、空間布局及預算綜合設計。