無塵潔凈車間的等級是根據(jù)空氣中懸浮粒子的濃度來劃分的,主要依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)(ISO14644-1)和國家標(biāo)準(zhǔn)(如中國GB50073)。以下是主要分級標(biāo)準(zhǔn)和典型應(yīng)用領(lǐng)域的總結(jié):
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一、國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1等級
ISO標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)每立方米空氣中≥0.1μm和≥0.5μm的粒子數(shù)劃分等級,數(shù)值越小潔凈度越高。
|等級|每立方米粒子數(shù)(≥0.5μm)|典型應(yīng)用|
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|ISO1|≤10|高端半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件|
|ISO2|≤100|精密納米技術(shù)、高純度材料生產(chǎn)|
|ISO3|≤1,000|半導(dǎo)體晶圓制造、光刻環(huán)境|
|ISO4|≤10,000|微電子封裝、醫(yī)療器械生產(chǎn)|
|ISO5|≤100,000(即100萬級)|無菌藥品灌裝、生物實(shí)驗室|
|ISO6|≤1,000,000(即10萬級)|食品/藥品包裝、體外診斷試劑生產(chǎn)|
|ISO7|≤10,000,000(即萬級)|醫(yī)療器械組裝、普通實(shí)驗室|
|ISO8|≤100,000,000(即千級)|普通工業(yè)品生產(chǎn)、清潔倉儲|
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二、國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)GB50073(等同采用ISO14644-1)
中國國家標(biāo)準(zhǔn)與ISO標(biāo)準(zhǔn)一致,常用等級為ISO5至ISO8(對應(yīng)傳統(tǒng)百級、千級、萬級、十萬級)。
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三、美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FedStd209E(已廢止但仍有參考)
|等級|每立方英尺粒子數(shù)(≥0.5μm)|
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|Class1|≤1|
|Class100|≤100(對應(yīng)ISO5)|
|Class1,000|≤1,000(對應(yīng)ISO6)|
|Class10,000|≤10,000(對應(yīng)ISO7)|
|Class100,000|≤100,000(對應(yīng)ISO8)|
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四、行業(yè)專用標(biāo)準(zhǔn)
1.GMP(藥品生產(chǎn)):
-A級:ISO5(動態(tài))
-B級:ISO5(靜態(tài))/ISO7(動態(tài))
-C級:ISO7(靜態(tài))/ISO8(動態(tài))
-D級:ISO8(靜態(tài))
2.半導(dǎo)體行業(yè):
-常采用ISO1-3級(如光刻區(qū)需超低粒子濃度)。
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五、關(guān)鍵影響因素
1.換氣次數(shù):等級越高,換氣頻率越高(如ISO5級每小時換氣≥300次)。
2.氣流形式:
-層流(單向流):用于高潔凈區(qū)域(如ISO1-5級)
-湍流(非單向流):用于較低等級區(qū)域(如ISO6-8級)。
3.溫濕度與壓差:需嚴(yán)格控制以保障工藝穩(wěn)定性。
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六、選擇建議
-高精度行業(yè)(芯片、生物制藥):選擇ISO1-5級,配合層流系統(tǒng)。
-一般制造業(yè)(食品、包裝):ISO6-8級即可滿足。
-驗證與監(jiān)測:需定期進(jìn)行粒子計數(shù)、風(fēng)速、壓差測試。
建議根據(jù)具體工藝需求、成本預(yù)算和法規(guī)要求綜合評估,必要時咨詢潔凈室設(shè)計專業(yè)機(jī)構(gòu)。